Полевой эмиссионный растровый электронный микроскоп JSM-6700F с приставкой энергодисперсионного микроанализатора JED-2300F фирмы «Jeol»
Метод растровой электронной микроскопии:
Высокое разрешение и высокое качество изображения позволяют проводить количественный морфологический анализ и измерение линейных размеров микрорельефа поверхности твердотельных структур благодаря электронной пушке с холодным катодом, сверхвысокому вакууму и усовершенствованным цифровым технологиям. Приставка для энергодисперсионной спектрометрии JED-2300F позволяет осуществлять качественный и количественный анализ состава твердотельных структур с использованием метода энергодисперсионной спектрометрии. Использование программного обеспечения «Analysis Station» в операционной системе WINDOWS XP предполагает два варианта количественного анализа:
- Функция « Дифференциальный фильтр + Метод наименьших квадратов + ZAF метод» использует справочные спектры элементов,
- Функция «QBase» выполняет анализ, используя стандартные спектры минералов.
Основные технические характеристики:
- Источник первичных электронов – холодноэмиссионная полевая пушка.
- Разрешение:
- 0,1 нм при 15 кВ;
- 0,22 нм при 1 кВ. - Ускоряющее напряжение – 0,5-30 кВ.
- Максимальный размер образца 200х200 мм, устойчивое сверхвысокое разрешение по всей площади объекта.
- Рабочее расстояние – 1,5-25 мм.
- Вакуум в:
- области источника 10-8 Па
- в камере 10-5 Па - Разрешение EDS – 133 эВ.
- Анализируемые элементы от B до U (количественный анализ).