Низковакуумный растровый электронный микроскоп JSM-6480LV фирмы «JEOL»
Многоцелевой сканирующий (растровый) микроскоп JSM-6480LV сочетает в себе возможности работы как в стандартном, так и в LV режимах.
Низковакуумный режим работы позволяет исследовать образцы без напыления токопроводящим слоем, в том числе образцы металлов, керамики, полимеров и композитов, а также образцы эмульсий частиц абразивного износа в смазочном масле, отработанные масляные фильтры, лакокрасочные покрытия и пр. образцы, которые не могут исследоваться в обычных высоковакуумных камерах электронных микроскопов.
Прибор оснащен дополняющими друг друга аналитическими приставками для комплексного анализа поверхности:
- спектрометрами с энергетической и волновой дисперсией (EDS) для определения химического состава;
- детектором обратно рассеянных электронов (EBSD) для исследования микроструктуры и текстуры (построение карт поверхности образца с определением зёренной структуры, анализом спектра разориентировок границ зёрен; построение полюсных фигур).
В 2023 г. участок электронной микроскопии ЦКП был дооснащен системой термального напыления углерода SD-800C для пробоподготовки образцов. Максимальный ток распыления составляет 100 А.