Комплекс оборудования для послеростовой подготовки поверхности

Изображение установки

В комплекс оборудования для послеростовой подготовки поверхности входят:

1. Фемтосекундная система ООО «Авеста» (Россия)

Предназначена для импульсного воздействия на образцы световым излучением высокой интенсивности (1010 и более Вт/см2) с целью структурной модификации материала, возбуждения электронной подсистемы, в том числе за счет реализации режима многофотонного поглощения, а также для ассистирования процесса роста тонких пленок методом высокочастотного магнетронного распыления.

Технические характеристики:
  • Длины волн излучения: 800 нм, 400 нм и 267 нм
  • Частота повторения до 1 кГц
  • Энергия импульса на первой гармонике >3.5 мДж
  • Длительность импульса < 50 фс

2. Установка плазмохимической обработки «ТеТеМ» (Россия)

Источник плазмы предназначен для активизации газовых реакций при пониженном давлении (1...10 Па) и позволяет генерировать ионы рабочего газа плотностью 1011 см-3. Источник плазмы состоит из трех взаимосвязанных устройств: реактор, ВЧ генератор и газовая система. Газовая система состоит из двух независимых каналов для подачи в зону реакции смеси газа-носителя и рабочего газа-прекурсора. В состав каждого канала входит полный комплект газовых элементов, необходимых для регулирования, управления и контроля газового потока. Подключение дополнительного высокочастотного генератора (и согласующего устройства соответственно) к подложкодержателю, не соединенного с корпусом установки, позволяет независимо от основного источника разряда корректировать энергию ионов.

Реквизиты центра

тел./факс: (495)638-45-46

e-mail: olga.trpva@rambler.ru

адрес: 119049, Москва, Ленинский пр-кт., д.4, комн. Б-08 - Б-014


Работы по развитию ЦКП осуществляются при финансовой поддержке государства в лице Минобрнауки России.

Уникальный идентификатор проекта RFMEFI59414X0007.


Доступ к проведению исследований на оборудовании ЦКП осуществляется на основе договора с одновременным заполнением заявки-заказа:

Типовой договор на оказание услуг

Заявка-заказ на проведение исследований