Рентгеновский фотоэлектронный спектрометр PHI VersaProbe II 5000

Изображение установки

Рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия (РФЭС), также известная как электронная спектроскопия для химического анализа (ЭСХА), основана на анализе энергетического распределения фотоэлектронов, эмитированных с поверхности вещества в вакууме при его возбуждении рентгеновскими фотонами, и предназначена для исследования химического состава поверхностей твердых тел.

Информативность метода

  • идентификация всех химических элементов, кроме водорода и гелия,
  • полуколичественный анализ,
  • определение химического состояния элемента,
  • глубина анализа от 5 до 50 A,
  • чувствительность метода – 0,1-0,3 ат.%

Технические возможности прибора определяются уникальным сочетанием прецизионного энергетического анализатора сферического типа (с энергетическим разрешением не более 0.50 эВ для пика Ag 3d5/2), оснащенного входной двухступенчатой системой электростатических линз, многоканального детектора фотоэлектронов, источника монохроматизированного излучения (Al kα излучение), запатентованной системой компенсации заряда электронным и ионным пучком.

Возбуждение рентгеновского излучения анода источника осуществляется с помощью сканирующего электронного пучка, что позволяет получать изображения поверхности образца во вторичных электронах и локализовать область анализа.

Область анализа в точке регулируется диаметром сфокусированного рентгеновского пучка, который меняется в диапазоне от 9 до 200 мкм. Область анализа в растре определяется размером растра сфокусированного рентгеновского пучка, максимальный размер которого составляет 1,2x1,2 мм2.

Ионная пушка с дифференциальной откачкой, встроенная в камеру анализа, позволяет очищать поверхности образцов от адсорбированных на воздухе примесей, а также осуществлять ионное травление образцов на глубину порядка сотен нанометров.

Низкое давление остаточных газов в камере анализа до 6.7x10-8 Па обеспечивается работой ионного насоса с высокой скоростью откачки, а также системой загрузки образца, предусматривающей предварительную его откачку в специальной камере, и ввод образца в тестовую камеру без заметного повышения давления.

Система перемещения держателя образцов обеспечивает возможность задания и сохранения различных положения с высокой точностью позиционирования для автоматического анализа. Размера образца не должны превышать 60 мм в диаметре и 8 мм в толщине.

Прибор имеет возможность формирования карт химического состояния с пространственным разрешением 9 мкм с одновременным получением спектра в каждой точке.

Реквизиты центра

тел./факс: (495)638-45-46

e-mail: olga.trpva@rambler.ru

адрес: 119049, Москва, Ленинский пр-кт., д.4, комн. Б-08 - Б-014


Работы по развитию ЦКП осуществляются при финансовой поддержке государства в лице Минобрнауки России.

Уникальный идентификатор проекта RFMEFI59414X0007.


Доступ к проведению исследований на оборудовании ЦКП осуществляется на основе договора с одновременным заполнением заявки-заказа:

Типовой договор на оказание услуг

Заявка-заказ на проведение исследований